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Femto-200工业级光纤飞秒激光器

Femto-200 系列工业级光纤飞秒激光器Femto 200 系列飞秒激光器是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项的研发成果。激光器采用光、电一体化设计,脉宽小于350 fs,单脉冲能量高达200 μJ。该产品可广泛应用于半导体晶圆加工、陶瓷与聚合物加工、金刚石加工、新能源材料加工、难加工金属加工、高分子材料加工与处理等领域。

产品咨询:

Femto-200工业级光纤飞秒激光器

Femto 200工业级飞秒激光器是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项的研发成果。激光器采用光、电一体化设计,脉宽小于350 fs,单脉冲能量高达200 μJ。该产品可广泛应用于半导体晶圆加工、陶瓷与聚合物加工、金刚石加工、新能源材料加工、难加工金属加工、高分子材料加工与处理等领域。

 

产品特点:

脉宽小于 350 fs,支持更多脉宽选择

单脉冲能量高达 200 μJ

支持重复频率调节

坚固耐用的工业一体化设计

 

应用领域:

半导体晶圆加工

陶瓷与聚合物加工

金刚石加工

新能源材料加工

难加工金属加工

高分子材料加工与处理

型号Femto 200-1035Femto 200-517Femto 200-1035Femto 200-517
中心波长1035 nm517nm1035 nm517nm
输出功率40 W15 W60 W20 W
最大单脉冲能量200 μJ75 μJ80 μJ30 μJ
最大脉冲串能量~~320 μJ~
重复频率Single-Shot to 200 kHzSingle-Shot to 200 kHzSingle-Shot to 750 kHzSingle-Shot to 750 kHz
脉冲宽度<350 fs to 10 ps<350 fs to 10 ps<350 fs to 10 ps<350 fs to 10 ps
光束质量M²≤1.3 (Typical <1.2)M²≤1.3 (Typical <1.2)M²≤1.3 (Typical <1.2)M²≤1.3 (Typical <1.2)
光束发散角<1 mrad,2θ<1 mrad, 2θ<1 mrad,2θ<1 mrad, 2θ
光斑圆度≥85%≥85%≥85%≥85%
光斑直径3±1 mm, 1/e²3±1 mm, 1/e²3±1 mm, 1/e²3±1 mm, 1/e²
偏振态LinearLinearLinearLinear
功率稳定性<2% RMS<2% RMS<2% RMS<2% RMS
工作温度10 to 30 °C10 to 30 °C10 to 30 °C10 to 30 °C
电源AC 220/110 VAC 220/110 VAC 220/110 VAC 220/110 V

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