30W超快激光精密加工子系统
超快精密加工子系统采用超短脉冲紫外光源，一体化结构设计，智能化软件控制，实现高精度材料加工。子系统配备视觉捕捉定位，面向大幅面加工进行幅面拼接；偏振优化，消除激光材料作用中存在的各向异性，提高加工品质；一体化控制，快速搭建产线。产品特点高精度视觉捕捉定位 高精度幅面拼接 偏振优化 激光加工图层调控应用领域复合材料加工 软陶瓷加工 金刚石材料刻槽 膜类加工 金属材料钻孔产品参数产品尺寸
超快精密加工子系统采用超短脉冲紫外光源，一体化结构设计，智能化软件控制，实现高精度材料加工。子系统配备视觉捕捉定位，面向大幅面加工进行幅面拼接；偏振优化，消除激光材料作用中存在的各向异性，提高加工品质；一体化控制，快速搭建产线。产品特点高精度视觉捕捉定位 高精度幅面拼接 偏振优化 激光加工图层调控应用领域复合材料加工 软陶瓷加工 金刚石材料刻槽 膜类加工 金属材料钻孔产品参数产品尺寸
超快精密加工子系统采用超短脉冲光源，All-in-one 结构设计，智能化软件控制，基于振 镜加工模式实现高精度多材料加工的一款工具。子系统配备了高精度视觉系统和联动控制软件， 可进行视觉定位和大幅面加工；光路中增加偏振优化，消除激光材料作用中存在的各向异性， 提高加工品质。光路模块设计提高光路稳定性和使用寿命。
产品特点
▲高精度视觉监测和定位
▲高精度无限幅面拼接
▲偏振优化
▲振镜自动校正
▲支持多轴扩展
▲支持固定、飞行光路方案
应用领域
▲金属材料高精度切割、钻孔
▲薄膜及复合材料加工
▲软陶瓷加工
▲金刚石材料加工
▲碳化硅晶圆标记
产品参数
产品尺寸
